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              EDI超純水設備是如何去除水中雜質的?
            1. 發布日期:2022-02-22      瀏覽次數:39
              •   水中含有大量雜質,只有去除水中的雜質,才能用于對水純度要求高的行業。EDI超純水設備可以去除水中的各種雜質,超純水系統處理后的水可以滿足電子行業的需求,實驗室等高標準用水,因此可以通過超純水設備去除其中的雜質。
                  超純水設備去除雜質
                  1.溶解無機鹽
                  EDI超純水設備有鈉、鈣、鎂等鹽類,溶于水形成正離子。當含有這些離子的水沖洗半導體器件時,這些雜質會擴散到集成電路表面,造成短路。過去是用蒸餾水去除水中的無機鹽,現在是三重蒸餾水。水的電阻率只有3兆歐-厘米,而且水中仍然含有大于01ppm的NaCl。最近,反滲透去離子很有用,所以使用離子交換樹脂,陽離子交換脂和陰離子交換樹脂分開使用,易于再生,混床離子交換樹脂用于離子交換的最后階段,起到看門人的作用。這種水可以達到18兆歐厘米(25攝氏度)。
                  2.溶解有機物
                  有工業廢物、洗滌劑、可生物降解產品和微生物代謝物,這些可以通過活性炭吸附法去除,炭床要放在離子交換樹脂之前,因為活性炭本身會帶雜質。必須注意的是,進入樹脂床的水首先要除去有機物,因為離子交換樹脂很容易被有機物(如腐殖酸)污染。反滲透可以去除分子量大于300的有機物,分子量小于300的有機物可以去除90%。
                  3.顆粒物
                  EDI超純水設備在很多地方容易生產,如碳床、樹脂床、深度過濾等設備。雖然使用了一些方法來實現高電阻率,但顆粒物并沒有被有效去除,這會導致半導體器件中出現針孔、短路、開路、內部擊穿和光刻膠脫落等缺陷。為了去除顆粒物,僅使用膜過濾,一般采用孔徑為0.45微米的微孔濾膜作為標準,對于特殊需要,采用孔徑為0.22微米的微孔濾膜去除膠體鐵、膠體硅和小細菌,反滲透還可以去除小顆粒。
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